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Häufige Fragen zu Mikrolithographielampen
Was sind Mikrolithographielampen?
Mikrolithographielampen sind spezielle Lichtquellen, die in der Halbleiterfertigung und Mikrofertigungstechnologie verwendet werden. Sie dienen dazu, ultrafeine Strukturen auf Wafern mittels Photolithographie präzise zu belichten.
Wofür werden Mikrolithographielampen verwendet?
Mikrolithographielampen werden vor allem in der Herstellung von Mikrochips und integrierten Schaltkreisen eingesetzt. Sie sind ein wichtiger Bestandteil der Photolithographie-Prozesse, bei denen Muster auf Halbleitermaterialien abgebildet werden.
Wie funktionieren Mikrolithographielampen?
Diese Lampen erzeugen Licht in einem engen Wellenlängenbereich (meistens UV-Licht), das auf einen Fotoresist auf einem Wafer fokussiert wird. Das Licht ändert die chemischen Eigenschaften des Fotoresists, wodurch die gewünschten Strukturen in den nachfolgenden Prozessen erzeugt werden können.
Was ist die typische Lebensdauer einer Mikrolithographielampe?
Die Lebensdauer hängt vom Typ der Lampe ab, liegt aber oft im Bereich von 500 bis 2.000 Betriebsstunden. Regelmäßige Wartung und optimale Betriebsbedingungen können die Lebensdauer verlängern.
